ULVAC干泵维修
LR系列：LR60、LR90、LR180、LR421、LR421-T、LR300、LR600、LR1200、LR1800、LR3601、LR3601-TT、LR3601-TTR
HR系列：HR60、HR90、HR300、HR600、HR1200
UR系列：UR90、UR421-T、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT
CR系列：CR16B、CR30B、CR60B、CR300B
GR系列：GR60A、GR90A、GR180A
PDR-C系列：PDR-012、PDR-060C、PDR-090CH、PDR-090CHN、PDR-090CLN、PDR-180CN、PDR-180C
VPT系列：VPT-030、VPT-6000

NB100B-NB1200B罗茨式真空泵
特长
洁净的真空
腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运作
选用比标准电机容量大一级的电机，即可实现在高吸入压强下的运作。
用途
• 照明、电子、光学、半导体。
• 镀膜、溅射、离子镀、液晶注入。
• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。
• 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。
• 分析仪器、检漏设备、CO2激光设备。

ULVAC分子泵维修
UTM系列：UTM-50、UTM-150、UTM-300、UTM-500、UTM300B
UTM-FH系列：UTM-6300FH、UTM-3303FH、UTM-1001FH、UTM-800FH、UTM-480FH、UTM-350FH、UTM3302FH
UTM-FW系列：UTM-3301FW、UTM-2300FW、UTM-1400FW、UTM-1001FW、UTM-800FW、UTM-480FW、UTM-350FW
YTP系列：YTP- 50M/SA、YTP- 150M/SA、YTP- 300M/SA、YTP- 500M/SA

ULVAC涡旋泵维修
DIS/DISL系列：DIS-90、DIS-251、DIS-501、DISL-101、DISL-502

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