铁岭探头价格 探头 392 Micro-Ion Plus

Edge™ CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar
INFICON Edge 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的较其准确的真空测量仪表。成熟的控温、防腐蚀、**纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有**的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获**的*特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。先进的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节，另外还有 EtherCAT 现场总线接口可供选择。创新的加热概念能够使接触表面保持低温，并节约宝贵的工具空间。INFICON Edge 是同类产品中小的真空测量仪器。
B-A规的测量下限由这类型规管的X射线极限决定。X射线极限因不同规管设计而不同。阴极发射的电子与栅较及其支撑网碰撞产生X射线。由于BA规的几何结构原因，仅有一小部分发射的X射线会被收集较收集。当X射线碰撞收集较丝时，收集较上会有光电子发射。X射线电流限制了压力测量范围，使其等效压力下限到10-10或10-11Torr范围，取决于规管型号。早期的规管在栅较外有个柱状收集较，这种规管的X射线极限大约在10-8Torr。当气体非常稀薄且规管所获得的电流输出几乎全部都来源于X射线光电发射时，X射线极限就决定了规管小压力测量值。

Pfeiffer Active 系列真空计

Edwards WRH仪表采用两种测量方法(Bayard-Alpert和Pirani)在一个紧凑的模块内，满足你所有需要测量和控制的真空系统。模拟和RS485输出可通过D-SUB连接器，2个继电器和易于校准，使控制和测量非常简单。采用所包含的软件，您可以很容易地跟踪和记录真空系统的性能，并对仪表的数据进行调整，如设置设定值或更改输出比例。WRH是许多真空系统的**选择，从研发机构到质谱领域，且广泛用于一般工业。

Granville-Phillips 385 Convectorn ATM模块是一个真空计，该直空计将压阻式隔膜与经过验证的Convectron传感器相结，提供从低真空到大气压力范围内的连续测量，并且相对压力测量可以在所设定的压力点由设**继电器激活开始工作。
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要精确测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规监控，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被精确地测量。VSR快速的响应时间以及精确的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎*维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
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